普达特科技发布公告称,公司正按计划开展cvd(化学气相沉积)设备业务,公司前期将向该业务投放人民币1.4亿元。按计划, cvd产品的范围包括用于制造12吋芯片的多种先进热cvd设备,公司预期相关产品将于2024年进入商业生产阶段。
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