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据台媒经济日报报道，asml曾于2022年宣布将投资300亿元新台币，投资中国台湾地区新北市的工厂，用于2纳米晶圆光学量测设备研发制造等。这笔投资会分批进行，8月29日，中国台湾经济部门通过了asml增资1.4亿欧元（约合56.4亿元新台币）的计划，资金将用于晶圆测量设备等产品的代工生产，asml同时会提供相关凯发平台的技术支持以及培训服务。