近日，据纳设智能官微消息，纳设智能成功研制出更大尺寸具有更多创新技术的8英寸碳化硅外延设备。据悉，该设备具备独特反应腔室设计、可独立控制的多区进气方式、以及智能的控制系统，将更好的提高外延片的均匀性，降低外延缺陷及生产中的耗材成本。
地址：
福建省福州市鼓楼区软件大道89号软件园f区5号楼21层
邮编：350003
电话：0591-87330283
传真：0591-87320726
网址：www.fjiti.com
信息来自网络，若有侵权，请联系删除。