近日，芯三代获数千万元融资，由海富产投、上海桦昀等投资方参与投资。芯三代成立于2020年，致力于第三代半导体关键设备——碳化硅(sic)外延设备的研发和产业化，在碳化硅外延领域掌握多项核心技术。公司在高产能、6/8英寸兼容、coo成本、长时间多炉数连续自动生长控制、低缺陷率、维护便利性和可靠性等方面都具有明显的优势。
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