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本轮融资由国开科技创业投资有限责任公司领投，君海创芯、石溪资本、国方资本等产业资本共同参与完成，中津海河（天津）新材料产业投资基金、厦门联和二期集成电路产业投资基金等老股东在本轮继续追加了投资。绿菱气体成立于2018年7月，致力于为集成电路、平板显示、半导体照明、光伏电池材料以及光纤等行业提供各种特种气体产品与服务，主要生产电子级n2o、cos、c2f6、c4f8、cf4、ch2f2等特种气体产品。