近日,ferrotec集团(中国)总部暨汉虹二期项目正式竣工。项目坐落于山连路188号,占地面积88亩,建筑面积8万平方米,总投资15亿元。其中,汉虹半导体装备生产上海汉虹精机改扩建项目,暨投资5亿元的单晶硅长晶炉、碳化硅长晶炉及其配套切割、研磨、抛光设备项目,预计年产碳化硅晶体生长装置300台,碳化硅切磨抛设备70台,将实现我国碳化硅晶体生长装置及切磨抛设备自给的突破。
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